JAXA Repository / AIREX 未来へ続く、宙(そら)への英知

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titleMEMS技術とファンドリーサービス
Other TitleMEMS Technology and Foundry Service
Author(jpn)富井, 和志
Author(eng)Tomii, Kazushi
Author Affiliation(jpn)松下電工株式会社 半導体開発センター
Author Affiliation(eng)Semiconductor Technology Development Center, Matsushita Electric Works, Ltd.
Issue Date2004-05
Publisher宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部 (JAXA)(ISAS)
Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)
Publication title第14回高温エレクトロニクス研究会
Proceedings of the 14th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS
Start page25
End page42
Publication date2004-05
Languagejpn
Description会議情報: 第14回高温エレクトロニクス研究会(2004年2月19日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部(JAXA)(ISAS)), 相模原市, 神奈川県
Meeting Information: 14th ISAS Research Meeting on HIGH TEMPERATURE ELECTRONICS (February 19, 2004. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan
Document TypeConference Paper
JAXA Categoryシンポジウム・研究会
SHI-NOSA6000026003
URIhttps://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/11437


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