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title第13回高温エレクトロニクス研究会
Other TitleProceedings of the 13th ISAS Research Meeting on High Temperature Electronics
Author(jpn)宇宙科学研究所
Author(eng)Institute of Space and Astronautical Science
Author Affiliation(jpn)宇宙科学研究所
Author Affiliation(eng)Institute of Space and Astronautical Science
Issue Date2003-05
PublisherThe Institute of Space and Astronautical Science (ISAS)
宇宙科学研究所
Publication date2003-05
Languagejpn
KeywordsMEMS; electronic circuit; actuator; Si substrate; semiconductor device; IC; micromachining; microstructure; microwave filter; microthrust; nanotechnology; catheter; X-ray astronomy; aerospace environment; semiconductor thermo sensor; MEMS; 電子回路; アクチュエータ; Si基板; 半導体デバイス; IC; マイクロマシーニング; マイクロストラクチャー; マイクロフィルター; マイクロスラスト; ナノ技術; カテーテル; X線天文学; 宇宙環境; 半導体熱センサ
Document TypeConference Paper
JAXA Categoryシンポジウム・研究会
SHI-NOAA0045917000
URIhttps://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/32098


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