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AA0045917000

Results 1-1 of 1.

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1. MEMSの可能性 Future of MEMS
(著者名) 江刺 正喜
(Author) Esashi, Masayoshi
(文献種別) Conference Paper
(刊行物名) 第13回高温エレクトロニクス研究会(Journal Name) Proceedings of the 13th ISAS Research Meeting on High Temperature Electronics(ページ) 3-11(刊行年月日) 2003-05
(抄録) MEMS(Micro ElectroMechanical Systems)(微小電気機械システム)は、電子回路だけでなくセンサやアクチュエータのような異なる要素をシリコン基板上などに集積化したもので、...
(言語) jpn(資料番号) AA0045917001
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