Laser spectroscopy of molecular ions produced by laser ablation of refractory materials

Abstract

Laser-Induced-Fluorescence (LIF) spectra of molecular ions produced by laser ablation of a solid sample and subsequent reaction with ambient gas have been observed. A Si wafer target is irradiated by a pulsed Nd:YAG laser (1.06 micrometer) in oxygen gas and LIF spectra of SiO(+) are observed. The optimum oxygen pressure for the formation of molecular ions is found to be approximately 120 mtorr, which is in good agreement with previous works on the formation of other neutral molecules.

固体試料のレーザアブレーション、およびそれに引き続く雰囲気ガスとの反応によって生成される、分子イオンのレーザ誘起蛍光(LIF)スペクトルを観測した。Siウエハターゲットを酸素ガス中で、Nd:YAGパルスレーザ(1.06マイクロメートル)を用いて照射し、SiO(+)のLIFスペクトルを観測した。分子イオンの形成に最適な酸素圧力は、約120mtorrであることがわかった。これはその他の中性分子の形成に関するこれまでの諸研究とよく一致している。