| タイトル | Modeling of plasma production by RF waves |
| その他のタイトル | 高周波によるプラズマ生成の模型化 |
| 著者（日） | 福山 淳; 市田 善信; 岩田 亮 |
| 著者（英） | Fukuyama, Atsushi; Ichida, Yoshinobu; Iwata, Ryo |
| 著者所属（日） | 岡山大学 工学部; 岡山大学 大学院; 岡山大学 大学院 |
| 著者所属（英） | Okayama University Faculty of Engineering; Okayama University Graduate School; Okayama University Graduate School |
| 発行日 | 1997-11-14 |
| 刊行物名 | Reports of the Institute of Fluid Science, Tohoku University
Reports of the Institute of Fluid Science, Tohoku University |
| 号 | 10 |
| 開始ページ | 57 |
| 終了ページ | 66 |
| 刊行年月日 | 1997-11-14 |
| 言語 | eng |
| 抄録 | In order to describe the behavior of processing plasma produced by RF (Radio Frequency) waves, a two-dimensional wave-propagation and plasma-transport simulation code has been developed. The transport analysis is based on a collisional fluid model. It was applied to the plasma production by ECR (Electron Cyclotron Resonance) and Helicon waves. The characteristics of wave propagation and initial stage of plasma production were studied.
高周波波動により生成する加工プラズマの挙動を記述するために、2次元波動伝搬およびプラズマ輸送シミュレーションコードを開発した。輸送解析は衝突流体模型に基づいた。電子サイクロトロン共鳴(ECR)およびヘリコン波を用いたプラズマ生成に模型を適用した。波動伝搬およびプラズマ生成の初期段階の特性を研究した。 |
| キーワード | radio frequency wave; plasma production; wave propagation; plasma transport; two dimensional simulation code; collisional fluid model; electron cyclotron resonance; helicon wave; plasma processing; wave electric field; 高周波波動; プラズマ生成; 波動伝搬; プラズマ輸送; 2次元シミュレーションコード; 衝突流体模型; 電子サイクロトロン共鳴; ヘリコン波; プラズマ加工; 波動電場 |
| 資料種別 | Conference Paper |
| ISSN | 0916-2879 |
| SHI-NO | AA0001239007 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/27710 |
