| タイトル | Erosion simulations in a magnetrons sputtering system |
| その他のタイトル | マグネトロンスパッタリング装置における浸食シミュレーション |
| 著者（日） | 井門 俊治; 柏木 美恵子; 小西 頼彦 |
| 著者（英） | Ido, Shunji; Kashiwagi, Mieko; Konishi, Yorihiko |
| 著者所属（日） | 埼玉大学 工学部; 埼玉大学 工学部; 埼玉大学 工学部 |
| 著者所属（英） | Saitama University Faculty of Engineering; Saitama University Faculty of Engineering; Saitama University Faculty of Engineering |
| 発行日 | 1997-11-14 |
| 刊行物名 | Reports of the Institute of Fluid Science, Tohoku University
Reports of the Institute of Fluid Science, Tohoku University |
| 号 | 10 |
| 開始ページ | 227 |
| 終了ページ | 236 |
| 刊行年月日 | 1997-11-14 |
| 言語 | eng |
| 抄録 | Computational simulations are applied to the studies of the erosion process in a magnetron sputtering system with a ferromagnetic target, where the magnetic field analysis is carried out by a FEM (Finite Element Method) code and plasma generation problems are examined by the particle orbit simulations. Computational results are compared with the experimental ones. It is shown that the erosion profiles have good agreement between both results.
強磁性ターゲットを使ったマグネトロンスパッタリング装置における浸食過程の研究に数値シミュレーションを適用し、磁場解析を有限要素法コードを用いて実施し、プラズマ発生問題を粒子軌道シミュレーションを用いて調べた。計算結果を実験結果と比較した。浸食形状は両結果がよく一致することが分かった。 |
| キーワード | magnetron sputtering system; erosion process; computational simulation; ferromagnetic target; magnetic field analysis; particle orbit simulation; erosion profile; finite element method; plasma generation problem; マグネトロンスパッタリング装置; 浸食過程; 計算機シミュレーション; 強磁性ターゲット; 磁場解析; 粒子軌道シミュレーション; 浸食形状; 有限要素法; プラズマ発生問題 |
| 資料種別 | Conference Paper |
| ISSN | 0916-2879 |
| SHI-NO | AA0001239026 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/28016 |
