| タイトル | Inductively coupled RF discharges using helical antennas |
| その他のタイトル | ヘリカルアンテナを用いる誘導結合RF放電 |
| 著者（日） | 節原 裕一; 上田 邦嗣; Musil,J.; 有安 富雄; 三宅 正司 |
| 著者（英） | Setsuhara, Yuichi; Ueda, Kunitsugu; Musil, Jindrich; Ariyasu, Tomio; Miyake, Shoji |
| 著者所属（日） | 大阪大学溶接工学研究所; 大阪大学 大学院; Institute of Physics, Czech Republic; 関西大学; 大阪大学溶接工学研究所 |
| 著者所属（英） | Welding Research Institute, Osaka University; Osaka University Graduate School; Institute of Physics, Czech Republic; Kansai University; Welding Research Institute, Osaka University |
| 発行日 | 1993-08 |
| 刊行物名 | Transactions of JWRI
Transactions of JWRI |
| 巻 | 22 |
| 号 | 1 |
| 開始ページ | 1 |
| 終了ページ | 5 |
| 刊行年月日 | 1993-08 |
| 言語 | eng |
| 抄録 | Presented in this report are experimental investigations on the Radio-Frequency (RF) discharges at 13.56 MHz using helical antennas with different pitches and azimuthal mode numbers. Obvious transition of the discharge has been observed in the plasmas produced using the antenna with an azimuthal mode number of m = +/- one in presence of external mirror field greater than 500 G with RF power greater than 350 W. The transition of the discharge mode has been accompanied with the significant decrease of the RF circuit current indicating the drastic charge of the plasma loading due to the increase in the plasma density.
種々のピッチと方位モード数を有するヘリカルアンテナを用いて、13.56MHzでの高周波放電を実験的に検討した。350W以上の高周波電力で、500G以上の外部ミラー磁場の存在下で、方位モード数m=±1を有するアンテナを用いて形成したプラズマ中で、明確な放電の遷移を認めた。放電モードの遷移に伴い、高周波回路電流の有意な低下が生じたが、これはプラズマ密度の増大によって、プラズマ負荷が急激に変化したことを示すものである。 |
| キーワード | helical antenna; inductively coupled radio frequency discharge; plasma; azimuthal mode number; radio frequency circuit current; plasma density; cyclotron resonance plasma; magnetic field; electron density; mirror field; plasma loading; ヘリカルアンテナ; 誘導結合高周波放電; プラズマ; 方位モード数; 高周波回路電流; プラズマ密度; サイクロトロン共鳴プラズマ; 磁場; 電子密度; ミラー磁場; プラズマ負荷 |
| 資料種別 | Technical Report |
| ISSN | 0387-4508 |
| SHI-NO | AA0009317001 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/28273 |
