AIREX: Fabrication of Si/Si(sub 1-x)Ge(sub x)O(sub 2) Heterojunctions by Molecular Beam Epitaxy and Stain Etching

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タイトル	Fabrication of Si/Si(sub 1-x)Ge(sub x)O(sub 2) Heterojunctions by Molecular Beam Epitaxy and Stain Etching
著者（英）	George, T.; Fathauer, R.; Ksendzov, A.; Pike, W.; Jones, E.
発行日	1994-06-22
言語	eng
内容記述
権利	Copyright

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