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タイトルLow Energy Sputter Yields for Diamond, Carbon-Carbon Composite, and Molybdenum Subject to Xenon Ion Nombardment
著者(英)Garner, C.; Goodwin, D.; Blandino, J.
発行日1999-05-01
言語eng
内容記述Sputter yields have been measured for polycrystalline diamond, single crystal diamond, a carbon-carbon composite, and molybdenum subject to bombardment with xenon. The tests were performed using a 3 cm Kaufman ion source to produce incident ions with energy in the range of 150 - 750 eV and profilometry based technique to measure the amount of sputtered material.
権利Copyright


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