JAXA Repository / AIREX 未来へ続く、宙（そら）への英知

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タイトルFabrication of micro actuators for a MEMS deformable mirror by membrane transfer
著者（英）Yang, E. H.; Wiberg, D. V.; Dekany, R. G.
発行日2001-06-10
言語eng
内容記述
NASA分類Optics
権利Copyright


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