| タイトル | ECRプラズマ反応制御型レーザアブレーションによる新プロセシング技術 開発と高温超伝導薄膜生成実験 5:成膜条件の検討と分光測定 |
| その他のタイトル | Development of laser-ablation method assisted by reactive ECR plasma and preparation of high Tc oxide superconducting film 5: Condition for film preparation and spectroscopy measurement |
| 著者（日） | 田間 政義; 松川 竹伸; 園田 義人; 岡村 登志生; 赤崎 正則; 高山 哲信; 永田 正典; 末永 知子 |
| 著者（英） | Tama, Masayoshi; Matsukawa, Takenobu; Sonoda, Yoshito; Okamura, Toshio; Akazaki, Masanori; Takayama, Tetsunobu; Nagata, Masanori; Suenaga, Tomoko |
| 著者所属（日） | 九州東海大学 大学院; 九州東海大学 大学院; 九州東海大学 工学部 電気工学科; 九州東海大学 工学部 電気工学科; 九州東海大学 工学部 電気工学科; 福岡カレッジオブビジネス; 熊本県工業技術センター; 熊本県工業技術センター |
| 著者所属（英） | Kyushu Tokai University Graduate School; Kyushu Tokai University Graduate School; Kyushu Tokai University Department of Electrical Engineering, School of Engineering; Kyushu Tokai University Department of Electrical Engineering, School of Engineering; Kyushu Tokai University Department of Electrical Engineering, School of Engineering; Fukuoka College of Business; Kumamoto Industrial Research Institute; Kumamoto Industrial Research Institute |
| 発行日 | 1993-03-25 |
| 刊行物名 | 情報開発研究室所報(旧情報開発センター所報)
Bulletin of Technical Knowledge and Information Developing Laboratory |
| 号 | 7 |
| 開始ページ | 3 |
| 終了ページ | 11 |
| 刊行年月日 | 1993-03-25 |
| 言語 | jpn |
| 抄録 | The plasma and laser hybrid processing technique have been developed. As one of such techniques, the ECR (Electron Cyclotron Resonance) plasma-controlled laser ablation system is presented. In the present report, it is shown that the plasma and hybrid ablation method is effective in preparing an oxide thin film and the processing condition to prepare the YBaCuO film by the low power infrared laser with the ECR plasma is experimentally examined. Further, spectroscopy measurements of radiation from the ablation region are carried out, indicating that the effective ablation time is about five minutes in the present machine.
プラズマとレーザによるハイブリッド・プロセシング技術の開発を行ってきた。このような技術の1つとして、ECRプラズマ反応制御型レーザアブレーション・システムを紹介した。本報では、プラズマとハイブリッド・アブレーション法は酸化物薄膜を調製するのに有効な方法であることを示すとともに、低出力赤外レーザとECRプラズマを組み合わせてYBaCuO薄膜を調製するためのプロセシング条件を実験により調べた結果を報告した。さらに、アブレーション領域からの放射の分光測定を行い、実効アブレーション時間が現装置では5分程度かかることを明らかにした。 |
| キーワード | laser ablation method assisted by reactive ECR plasma; thin film preparation condition; oxide high temperature superconducting film; spectroscopy; plasma and laser hybrid processing technique; YBaCuO thin film; low power infrared laser; ECR plasma; ablation region; effective ablation time; plasma effect; homogeneous thin film preparation; target material; optimum chemical composition ratio; thin film preparation reproducibility; ECRプラズマ反応制御型レーザアブレーション法; 成膜条件; 酸化物高温超伝導薄膜; 分光測定; プラズマ-レーザ・ハイブリッド・プロセシング技術; YBaCuO薄膜; 低出力赤外レーザ; ECRプラズマ; アブレーション領域; 実効アブレーション時間; プラズマ効果; 均一成膜; ターゲット材料; 最適組成比; 成膜再現性 |
| 資料種別 | Technical Report |
| ISSN | 0919-8547 |
| SHI-NO | AA0009622001 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/28871 |
