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タイトルTechnical Report of ISSP Ser. A: Number 2888
その他のタイトルCrystal growth model for molecular beam epitaxy: Role of kinks on crystal growth
分子ビームエピタクシーの結晶成長モデル:結晶成長におけるキンクの役割
著者(日)石坂 彰利; 村田 好正
著者(英)Ishizaka, Akitoshi; Murata, Yoshitada
著者所属(日)東京大学物性研究所; 東京大学物性研究所
著者所属(英)Institute for Solid State Physics, University of Tokyo; Institute for Solid State Physics, University of Tokyo
発行日1994-10
発行機関などInstitute for Solid State Physics, University of Tokyo
刊行物名Technical Report of ISSP Ser. A
Technical Report of ISSP Ser. A
2888
開始ページ1冊
刊行年月日1994-10
言語eng
抄録A simple crystal growth model for Molecular Beam Epitaxy (MBE) is proposed. Based on the common features of various MBE material systems, growth mode are classified as either high temperature growth or low temperature growth. The transition temperature between the two growth modes is found to be a characteristic value: one half the melting temperature (T(sub m)) of each material. The incorporation of growing atoms on the crystal surface is discussed based on a crystal surface model composed of kinks, ledges, and terraces. At temperature higher than 1/2(T(sub m)), kinks act as incorporation and decomposition sites for growing atoms, and the shape of the growth front step is simple and smooth. At temperature lower than 1/2(T(sub m)), kinks act only as pinning sites with a zigzag step.
分子ビームエピタクシー(MBE)の単純な結晶成長モデルを提案した。多くのMBE物質系についての共通の特徴に基ずき、成長モードを高温成長と低温成長に分類した。これらの2つの成長モード間の転移温度は、特性値を持つことが分かった; 各物質の融点(T(m))の半分になる。結晶表面に成長原子を取込むこることについてキンク、レッジそしてテラスから成る結晶表面モデルによって議論した。1/2(T(m))以上の温度では、キンクが成長原子の取込みと分解作用をする。そして成長先端ステップの形状は単純かつ平坦になる。1/2(T(m))以下の温度ではキンクはジグザクステップを持つピン止めサイトの役割だけである。
キーワードgallium arsenide; silicon; compound semiconductor; molecular beam epitaxy; semiconductor thin film; transition temperature; kink; surface terrace; crystal growth model; MBE growth; high temperature growth; growing atom incorporation; ledge; ひ化ガリウム; けい素; 化合物半導体; 分子ビームエピタクシー; 半導体薄膜; 転移温度; キンク; 表面テラス; 結晶成長モデル; MBE成長; 高温成長; 成長原子取込み; レッジ
資料種別Technical Report
ISSN0082-4798
SHI-NOAA0007369000
レポートNOISSP-Ser.A-No.2888
URIhttps://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/30616


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