| タイトル | 波長走査干渉法による機械切削面の形状計測 |
| その他のタイトル | Profilometry for milled surfaces by wavelength scanning interferometry |
| 著者（日） | 山本 明弘; 桑村 進; 山口 一郎 |
| 著者（英） | Yamamoto, Akihiro; Kuwamura, Susumu; Yamaguchi, Ichiro |
| 著者所属（日） | 理化学研究所 光工学研究室; 理化学研究所 光工学研究室; 理化学研究所 光工学研究室 |
| 著者所属（英） | Institute of Physical and Chemical Research Optical Engineering Laboratory; Institute of Physical and Chemical Research Optical Engineering Laboratory; Institute of Physical and Chemical Research Optical Engineering Laboratory |
| 発行日 | 1997-09-30 |
| 刊行物名 | レーザー科学研究
Laser Science Progress Report of RIKEN |
| 号 | 19 |
| 開始ページ | 108 |
| 終了ページ | 110 |
| 刊行年月日 | 1997-09-30 |
| 言語 | jpn |
| 抄録 | 波長可変レーザ(波長走査干渉法)を用いた2ビーム干渉計を機械切削面の形状計測に適用した。切削面の絶対高さの分布を、段差あるいは溝があるいくつかの試料で撮ったCCDカメラの各画素から得られる干渉信号の零交差間隔を計数して測定した。段と溝の測定結果を示した。
A two beam interferometer using a wavelength tunable laser (wavelength scanning interferometry) has been applied to profilometry of milled surfaces. The distribution of absolute height of the surfaces has been measured from the zero-crossing intervals of the interference signals arising from each pixel of a CCD camera for several samples having a step or a dip. The results from a step and a dip are shown. |
| キーワード | surface profilometry; milled surface; wavelength scanning interferometry; two beam interferometer; wavelength tunable laser; milled surface absolute height; zero crossing interval; interference signal; CCD camera; step height; dip depth; pixel; dye laser; 表面形状計測; 機械切削面; 波長走査干渉法; 2ビーム干渉計; 波長変調レーザ; 切削面絶対高さ; 零交差間隔; 干渉信号; CCDカメラ; 段差; 溝深さ; 画素; 色素レーザ |
| 資料種別 | Technical Report |
| ISSN | 0289-8411 |
| SHI-NO | AA0001046037 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/31392 |
