| タイトル | p-i-n a-Si:H光導電層と画素分離されたアルミ反射鏡を持つ液晶空間光変調器 |
| その他のタイトル | Liquid crystal spatial light modulator using p-i-n a-Si:H photoconductive layer and reticulated Al mirror |
| 著者（日） | 大塚 勝博; 高橋 秀年; 畑中 義式 |
| 著者（英） | Otsuka, Katsuhiro; Takahashi, Hidetoshi; Hatanaka, Yoshinori |
| 著者所属（日） | 日本電気 モバイルコミニュケーション事業部; 静岡大学電子工学研究所; 静岡大学電子工学研究所 |
| 著者所属（英） | NEC Corporation Mobile Communications Division; Research Institute of Electronics, Shizuoka University; Research Institute of Electronics, Shizuoka University |
| 発行日 | 1997-03-29 |
| 刊行物名 | 静岡大学電子工学研究所研究報告
Bulletin of the Research Institute of Electronics, Shizuoka University |
| 巻 | 31 |
| 開始ページ | 65 |
| 終了ページ | 70 |
| 刊行年月日 | 1997-03-29 |
| 言語 | jpn |
| 抄録 | This paper describes the fabrication and the photoelectric characteristics of Liquid Crystal Spatial Light Modulator (LC-SLM). The device consists of three parts such as a photoconductive layer, liquid crystal in twist nematic mode and reflection mirror. Thin films of a-Si:H with p-i-n structure formed by plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) have been used as photoconductive layers. The resistivity of this layer in the reverse bias condition is found to be 10(exp 13) ohm-cm for dark and 10(exp 9) ohm-cm for light irradiation of 2.6 mW/sq cm from an incandescent lamp. Aluminum pixels have been used as a reflection mirror in the present investigation. The performance of the device is found to be good with 12:1 contrast ratio and high resolution.
液晶空間光変調器(LC-SLM)の作製および光電特性について述べた。このデバイスは，光電導層、ねじれネマチックモードの液晶および反射鏡の3部分からなる。プラズマCVD(化学気相成長)で形成したp-i-n構造のa-Si:H薄膜を光導電層として使用した。逆バイアス条件下でのこの層の抵抗率は、暗い状態で10(exp 13)Ωcm、白熱ランプによる2.59mW/平方センチメートルの光照射状態で10(exp 9)Ωcmであることが分かった。現在の研究では、アルミニウム画素を反射鏡として使用した。このデバイスはコントラスト比12:1で高解像度という良い性能もつことがわかった。 |
| キーワード | liquid crystal light modulator; spatial light modulator; pin junction; amorphous silicon; a Si H photoconductive layer; hydrogenation; current voltage characteristic; photocurrent; dark current; twist nematic mode liquid crystal; alminium reflection mirror; high contrast ratio; high resolution; 液晶光変調器; 空間光変調器; pin接合; 非晶質けい素; a-Si:H光導電層; 水素化; 電流電圧特性; 光電流; 暗電流; ねじれネマチックモード液晶; アルミニウム反射鏡; 高コントラスト比; 高分解能 |
| 資料種別 | Technical Report |
| SHI-NO | AA0000817005 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/33254 |
