X線光電子分光法の上手な使い方

Abstract

X線光電子分光法(XPS)は、真空中で物質に一定のエネルギーをもつX線を照射し、光イオン化によって放出される電子の運動エネルギーのスペクトルを測定することにより、物質を構成する元素とその化学状態およびそれらの存在割合に関する情報を得る分析法である。固体を対象とし、通常の装置を用いる基本的な方法について解説した。注意すべき点として、装置の校正、試料の取り扱い、帯電効果について述べた。化学シフトによる状態分析、サテライト・ピークの利用、およびオージェパラメータによる状態分析を説明した。オーバラップしたピークの分離およびXPSによる半定量分析の手法と注意すべき点についても述べた。

X ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) is an analytical method for obtaining information on the elements which compose materials, their chemical state and abundance, by measuring the kinetic energy spectra of electrons due to photoionization, when an X ray beam with a constant energy is irradiated on the target material in vacuum. Typical measurement methods with commercially available instruments for solids are explained. Calibration of the instrument, handling of the sample and the charging effect are described with respect to practical application of the method for solid samples. The electron state analysis based on the chemical shift, satellite peaks and the Auger parameter is explained. Procedures and cautions to be taken in the deconvolution of overlapping peaks and semi quantitative analysis are also briefly discussed.