| タイトル | Dynamics of three-dimensional DC magnetron discharge plasma |
| その他のタイトル | 3次元直流マグネトロン放電プラズマの動力学 |
| 著者（日） | 南部 健一; 近藤 修司 |
| 著者（英） | Nanbu, Kenichi; Kondo, Shuji |
| 著者所属（日） | 東北大学流体科学研究所; 東北大学 大学院 |
| 著者所属（英） | Institute of Fluid Science, Tohoku University; Tohoku University Graduate School |
| 発行日 | 1997-11-14 |
| 刊行物名 | Reports of the Institute of Fluid Science, Tohoku University
Reports of the Institute of Fluid Science, Tohoku University |
| 号 | 10 |
| 開始ページ | 275 |
| 終了ページ | 282 |
| 刊行年月日 | 1997-11-14 |
| 言語 | eng |
| 抄録 | The dynamic structure of three-dimensional DC (Direct Current) magnetron discharge has been found by the use of the Particle-in-Cell/Monte Carlo method. Magnets are placed in the form of a racetrack with a practical dimension of commercial sputtering apparatus. The plasma shows a dynamic motion with chaotic nature; there exists no complete steady state even for a steady boundary condition.
3次元直流マグネトロン放電の動的構造をセル中の粒子/モンテカルロ法を用いて明らかにした。磁石は市販スパッタリング装置の実用寸法と同じにレーストラックの形に置いた。プラズマはカオス性の動的運動を示し、定常境界条件に対してすら完全な定常状態は存在しなかった。 |
| キーワード | magnetron discharge plasma; dynamic structure; particle in cell method; Monte Carlo method; sputtering apparatus; chaotic nature; plasma steady state; steady boundary condition; magnetic field model; electron number density; collision simulation; マグネトロン放電プラズマ; 動的構造; セル中粒子法; モンテカルロ法; スパッタリング装置; カオス性; プラズマ定常状態; 定常境界条件; 磁場模型; 電子数密度; 衝突シミュレーション |
| 資料種別 | Conference Paper |
| ISSN | 0916-2879 |
| SHI-NO | AA0001239031 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/36375 |
