JAXA Repository / AIREX 未来へ続く、宙(そら)への英知

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タイトルBaffles Promote Wider, Thinner Silicon Ribbons
著者(英)Sprecace, Richard P.; Hundal, Rolv; Mchugh, James P.; Seidensticker, Raymond G.
著者所属(英)Jet Propulsion Lab., California Inst. of Tech.
発行日1989-08-01
言語eng
内容記述Set of baffles just below exit duct of silicon-ribbon-growing furnace reduces thermal stresses in ribbons so wider ribbons grown. Productivity of furnace increased. Diverts plume of hot gas from ribbon and allows cooler gas from top of furnace to flow around. Also shields ribbon from thermal radiation from hot growth assembly. Ribbon cooled to lower temperature before reaching cooler exit duct, avoiding abrupt drop in temperature as entering duct.
NASA分類FABRICATION TECHNOLOGY
レポートNO89B10418
NPO-17168
権利No Copyright
URIhttps://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/368044


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