JAXA Repository / AIREX 未来へ続く、宙(そら)への英知

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タイトルDual-Cathode Electron-Beam Source
著者(英)Bradley, James G.; Conley, Joseph M.; Wittry, David B.
著者所属(英)Jet Propulsion Lab., California Inst. of Tech.
発行日1988-06-01
言語eng
内容記述Beam from either cathode electromagnetically aligned with exit port. Electron beam from either of two cathodes deflected by magnetic and electric fields to central axis. Mechanical alignment of beam easy because cathode axes, anode apertures, and electron trajectories coplanar. Applications where uninterrupted service needed: scanning electron microscopes, transmission electron microscopes, electron-beam lithography equipment, Auger instruments, and microfocused x-ray sources.
NASA分類ELECTRONIC COMPONENTS AND CIRCUITS
レポートNO88B10321
NPO-16878
権利No Copyright
URIhttps://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/375189


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