タイトル | Fabrication of Thick Gold Strip Lines |
著者(英) | Robinson, K.; Garvin, H. L.; Gee, C. M. |
著者所属(英) | Jet Propulsion Lab., California Inst. of Tech. |
発行日 | 1985-02-01 |
言語 | eng |
内容記述 | Ion-beam etching and masking techniques fabricate micron-sized gold strip lines. Fabricated by use of argon ion-beam milling. |
NASA分類 | FABRICATION TECHNOLOGY |
レポートNO | 84B10190 NPO-16238 |
権利 | No Copyright |
URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/401817 |
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