JAXA Repository / AIREX 未来へ続く、宙(そら)への英知

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タイトルCathodoluminescence of Al/x/Ga/1-x/As grown by liquid-phase epitaxy
著者(英)Levin, E. R.; Ladany, I.
著者所属(英)Radio Corp. of America
発行日1978-06-01
言語eng
内容記述Small-area contrast fluctuations observed in cathodoluminescence-mode SEM images of thin Al(x)Ga(1-x)As layers grown by liquid-phase epitaxy on GaAs:Cr substrates are attributed to local variations in alloy composition. Quantitative estimates of the composition excursions are obtained from the variations in CL intensity by calibration against compositions known from electron-probe microanalysis. In a typical sample, the CL variations are shown to correspond to peak-to-peak fluctuations of about 1 at. % of Al and occur over irregular regions generally in the range 6-20 microns in diameter.
NASA分類SOLID-STATE PHYSICS
レポートNO78A38526
権利Copyright
URIhttps://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/432511


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