JAXA Repository / AIREX 未来へ続く、宙(そら)への英知

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タイトルStructural and luminescent properties of SrGa2Se4:Ce thin films prepared by multi-source deposition
その他のタイトル多原料蒸着により作製したSrGa2Se4:Ce薄膜の構造とルミネッセンス性
著者(日)中西 洋一郎; 芝 文広; 曽和 国容; 立岡 浩一; 中村 高遠; 桑原 弘; 畑中 義式
著者(英)Nakanishi, Yoichiro; Shiba, Fumihiro; Sowa, Kunihiro; Tatsuoka, Hiroichi; Nakamura, Takato; Kuwabara, Hiroshi; Hatanaka, Yoshinori
著者所属(日)静岡大学電子工学研究所; 静岡大学電子工学研究所; 日本電装 工業技術研修センター; 静岡大学 工学部; 静岡大学 工学部; 静岡大学 工学部; 静岡大学電子工学研究所
著者所属(英)Research Institute of Electronics, Shizuoka University; Research Institute of Electronics, Shizuoka University; Nippondenso Co, Ltd Technical College; Shizuoka University Faculty of Engineering; Shizuoka University Faculty of Engineering; Shizuoka University Faculty of Engineering; Research Institute of Electronics, Shizuoka University
発行日1995-10-03
刊行物名Bulletin of the Research Institute of Electronics, Shizuoka University
静岡大学電子工学研究所研究報告
30
3
開始ページ123
終了ページ126
刊行年月日1995-10-03
言語eng
抄録IIaIIIb2VIb4 ternary compound thin films doped with Ce(3+) ion are of interest for full color thin-film EL (Electroluminescence) display, because it shows blue emission with good chromaticity. In this investigation, SrGa2Se4:Ce thin films were prepared by the multi-source deposition technique using Sr, Ga2Se3, Se and CeF3 sources. The structural property and composition of the films deposited were characterized and the growth mechanism of the film was discussed. The SrGa2Se4 film could be successfully deposited without SrSe and GaSe phases at a Ga2Se3/Sr flux ratio of 56 and at a substrate temperature of 450 C. It was shown that when Ga2Se3 evaporates from the source, it decomposes into GaSe and Se2. It is suggested from these results that the formation of SrGa2Se4 or SrSe depends strongly on the substrate temperature.
Ce(3+)イオンをドープしたIIaIIIb2VIb4の3元化合物薄膜は、良い色度の青色光放出を示すので、フルカラー薄膜EL(エレクトロルミネセンス)ディスプレイとして興味深い。本研究では、Sr、Ga2Se3、Se、およびCeF3原料を使用した多原料蒸着法によってSrGa2Se4:Ce薄膜を作製した。蒸着膜の構造と組成の特性を調べ、膜の成長機構を論じた。SrSeおよびGaSe相を用いずに、Ga2Se3/Sr流量比56,基板温度450度CでSrGa2Se4膜の蒸着に成功した。これらの結果から、SrGa2Se4またはSrSeの形成は基板温度に強く依存することが示唆される。
キーワードSrGa2Se4:C thin film; multi source deposition; electroluminescence; EL; IIaIIIb2VIb4 ternary compound; thin film EL display; blue emission; SrSe; GaSe; SrGa2Se4:Ce薄膜; 多原料蒸着法; エレクトロルミネセンス; EL; IIaIIIb2VIb43元化合物; 薄膜ELディスプレイ; 青色光放出; SrSe; GaSe
資料種別Conference Paper
SHI-NOAA0000462027
URIhttps://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/46164


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