タイトル | アルミナセラミックス中の不純物元素の拡散 |
その他のタイトル | Diffusion of heteroatom in alumina ceramics |
著者(日) | 内山 休男; 古澤 誠; 杉元 雅則; 小林 和夫; 羽坂 雅之 |
著者(英) | Uchiyama, Yasuo; Furusawa, Makoto; Sugimoto, Masanori; Kobayashi, Kazuo; Hasaka, Masayuki |
著者所属(日) | 長崎大学 工学部 材料工学科; 長崎大学 工学部 材料工学科; 長崎大学 工学部 材料工学科; 長崎大学 工学部 材料工学科; 長崎大学 工学部 材料工学科 |
著者所属(英) | Nagasaki University Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering; Nagasaki University Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering; Nagasaki University Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering; Nagasaki University Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering; Nagasaki University Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering |
発行日 | 1997-01 |
刊行物名 | 長崎大学工学部研究報告 Reports of the Faculty of Engineering, Nagasaki University |
巻 | 27 |
号 | 48 |
開始ページ | 161 |
終了ページ | 166 |
刊行年月日 | 1997-01 |
言語 | jpn |
抄録 | Diffusion of silicon atom and titanium atom in alumina ceramics was investigated. Diffusion coefficient of silicon atom or titanium atom in commercial alumina ceramics can be obtained, by measuring concentration of the heteroatoms with SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) and using Gaussian type solution as the thin film solution. The amount of MgO as sintering additive and grain size did not affect diffusion coefficient of the heteroatoms in alumina ceramics. アルミナセラミックス中でのけい素原子とチタン原子の拡散を調べた。ガウス型溶液を薄膜溶液として用い、2次イオン質量分析(SIMS)によりヘテロ原子の濃度を測定することにより、市販のアルミナセラミックス中でのけい素原子またはチタン原子の拡散係数を得ることができた。焼結助剤として添加するMgOの量や結晶粒度は、アルミナセラミックス中でのヘテロ原子の拡散係数に影響を及ぼさなかった。 |
キーワード | alumina; ceramics; heteroatom; silicon atom; titanium atom; heteroatom diffusion; diffusion coefficient; concentration distribution; secondary ion mass spectrometry; mass spectrometry; temperature dependence; sintering aid; magnesia; アルミナ; セラミックス; ヘテロ原子; けい素原子; チタン原子; ヘテロ原子拡散; 拡散係数; 濃度分布; 2次イオン質量分析法; 質量分析法; 温度依存性; 焼結助剤; 酸化マグネシウム |
資料種別 | Technical Report |
ISSN | 0286-0902 |
SHI-NO | AA0000768002 |
URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/46747 |