| タイトル | Water contamination in thermal oxide on silicon |
| 著者（英） | Miraldi, F. D.; Holmberg, G. L.; Kuper, A. B. |
| 発行日 | 1970-05-01 |
| 言語 | eng |
| 内容記述 | Water contaminating effects on thin thermal oxide passivated silicon planar devices |
| NASA分類 | CHEMISTRY |
| レポートNO | 70A28930 |
| 権利 | Copyright |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/472459 |
|
