| タイトル | Test and inspection for process control of monolithic circuits Final report, 25 Aug. - 25 Nov. 1966 |
| 著者（英） | Slaughter, R. S. |
| 著者所属（英） | Philco Corp. |
| 発行日 | 1966-11-25 |
| 言語 | eng |
| 内容記述 | Fabrication quality control of monolithic microcircuits |
| NASA分類 | ELECTRONIC EQUIPMENT |
| レポートNO | 67N18012
NASA-CR-81723
H-554 |
| 権利 | No Copyright |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/489984 |
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