| タイトル | SPUTTERING ION SOURCE FOR SOLIDS |
| 著者（英） | Herzog, F. K.; Liebl, H. J. |
| 発行日 | 1963-09-01 |
| 言語 | eng |
| 内容記述 | Sputtering argon ion source used for analysis of solids provides more stable operation than a spark source and allows electrometric recording of the mass spectrum |
| NASA分類 | PHYSICS, GENERAL |
| レポートNO | 63A21816 |
| 権利 | Copyright |
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