中型真空蒸着装置を用いた蒸着基礎実験

Abstract

国立天文台天文機器開発実験センター(ATC)に新たに設置された1.6m蒸着装置を用いて、1996年4月に一連の蒸着実験を行なった。この蒸着装置の主用途は、ATCにおいて赤外シミュレータ用1.6m主鏡にアルミニウム再蒸着を施すことである。1.6m蒸着装置は、基本的には、「すばる」望遠鏡用8.3m蒸着装置の縮小版としての役割も果たせるように設計された。1.6m蒸着装置の基本性能を評価するための基礎実験を行なった。膜厚、膜厚分布および分光反射特性など反射被膜の重要なパラメータを測定した。真空槽から取り出した直後の反射率の絶対値は約91%であると評価した。観察可能波長領域を広くするために、蒸発速度を高める必要がある。

Using the newly installed 1.6 m evaporation chamber at the Advanced Technology Center (ATC) of the National Astronomical Observatory, a series of coating experiments have been conducted in April 1996. The main task of this chamber is to realuminize the 1.6 m mirror of the Infrared Simulator at the ATC. In addition, some fundamental experiments evaluating the basic performance of the 1.6 m chamber, of which design is basically a miniature of the 8.3 m coating facility for Subaru Telescope were carried out. The important parameters of the reflecting coating such as the thickness, uniformity, and spectroscopic reflecting performance were measured. The absolute value of the reflectivity is estimated to be around 91 percent immediately after opening the chamber. In order to cover a wide range of observing wavelengths, it is necessary to seek for a higher evaporation rate with this facility.