タイトル | Mechanical property of dissimilar material nanocomposites prepared by ion beam assisted sputtering process |
その他のタイトル | イオンビーム補助スパッタプロセスで合成した異種物質ナノ複合材料の機械的性質 |
著者(日) | He, Jianli; 節原 裕一; 志水 一平; 三宅 正司 |
著者(英) | He, Jianli; Setsuhara, Yuichi; Shimizu, Ippei; Miyake, Shoji |
著者所属(日) | 大阪大学接合科学研究所; 大阪大学接合科学研究所; 大阪大学接合科学研究所; 大阪大学接合科学研究所 |
著者所属(英) | Joining and Welding Research Institute, Osaka University; Joining and Welding Research Institute, Osaka University; Joining and Welding Research Institute, Osaka University; Joining and Welding Research Institute, Osaka University |
発行日 | 2000-07 |
刊行物名 | Transactions of JWRI Transactions of JWRI |
巻 | 29 |
号 | 1 |
開始ページ | 9 |
終了ページ | 13 |
刊行年月日 | 2000-07 |
言語 | eng |
抄録 | To study the property tailoring effect of dissimilar material composites, Ti-B-N films were synthesized by an ion beam assisted sputtering system. Structural analysis and mechanical property evaluation were carried out to check whether or not the presence of h-BN in TiB2-based material is capable of producing better anti-wear performance. The Ti-B-N films were found to have a structure which comprised nanosized TiB2 and TiN crystallites and a thin layer matrix of hexagonal boron nitride. Compared with pure TiB2 improved tribological properties were observed for the Ti-B-N films. Bombarding energy and substrate temperature were found to have great influence on the film properties. When the bombarding energy was around 150 eV and the growth temperature was about 100 C, the wear rate of Ti-B-N film was about two orders lower than that of pure TiB2 film. Also, films synthesized under this condition displayed higher load-bearing capacity and smaller friction coefficient. 異種物質複合材料の特性仕立て効果を研究するために、イオンビーム補助スパッタシステムを使用してTi-B-N膜を合成した。TiB2ベース物質中におけるh-BNの存在が良い抗磨耗性を生じる能力になるかどうかを調べるために、構造解析と機械的性質の評価をした。Ti-B-N膜の構造が、ナノサイズのTiB2およびTiN小結晶と六方晶ホウ窒化物の薄膜地構造であることがわかった。純TiB2と比較して、Ti-B-N膜には改良された摩擦特性が観察された。照射エネルギーと基板温度が膜特性に大きく影響することがわかった。照射エネルギーが150電子ボルト辺で成長温度がほぼ100度Cのとき、Ti-B-N膜は純TiB2膜よりも磨耗速度が2オーダ低かった。また、この条件で合成した膜は高い耐荷重性と小さな摩擦係数を示した。 |
キーワード | composite; ion beam; deposition; hardness; friction; wear; composition; structure; coating; 複合材; イオンビーム; メッキ; 硬度; 摩擦; 磨耗; 組成; 構造; 被覆 |
資料種別 | Technical Report |
ISSN | 0387-4508 |
SHI-NO | AA0029270002 |
URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/50356 |