| タイトル | Generation of extreme high vacuum in a short time |
| その他のタイトル | 短時間極高真空の発生 |
| 著者（日） | 渡部 秀; 加藤 茂樹; 黒河内 智; 白石 明; 新岡 勇三; 笹本 哲司; 青野 正和 |
| 著者（英） | Watanabe, Shu; Kato, Shigeki; Kurokochi, Satoshi; Shiraishi, Akira; Niioka, Yuzo; Sasamoto, Tetsuji; Aono, Masakazu |
| 著者所属（日） | 理化学研究所 研究基盤技術部 極限環境技術室; 高エネルギー物理学研究所; 東洋大学; 理化学研究所 研究基盤技術部 極限環境技術室; 理化学研究所 研究基盤技術部 極限環境技術室; 理化学研究所 研究基盤技術部 研究機器開発技術室; 理化学研究所 表面界面工学研究室 |
| 著者所属（英） | Institute of Physical and Chemical Research Div. of Extreme Conditions Engineering, Dept. of Research Fundamentals Tech.; National Laboratory for High Energy Physics; Toyo University; Institute of Physical and Chemical Research Div. of Extreme Conditions Engineering, Dept. of Research Fundamentals Tech.; Institute of Physical and Chemical Research Div. of Extreme Conditions Engineering, Dept. of Research Fundamentals Tech.; Institute of Physical and Chemical Research Div. of Research Instruments Development, Dept. of Research Fundamentals Tech.; Institute of Physical and Chemical Research Surface and Interface Laboratory |
| 発行日 | 1996-04 |
| 発行機関など | Institute of Physical and Chemical Research |
| 刊行物名 | RIKEN Review
RIKEN Review |
| 号 | 12 |
| 開始ページ | 7 |
| 終了ページ | 8 |
| 刊行年月日 | 1996-04 |
| 言語 | eng |
| 抄録 | It is demonstrated that a stainless steel chamber with a volume as large as 50 l can be evacuated to an extreme High Vacuum (XHV) of 7 x 10(exp -11) Pa (5 x 10(exp -13) Torr) from atmospheric pressure in 15 h, using a polyphenyl ether diffusion pump and a titanium sublimation pump. Several key factors in this short-time generation of XHV are discussed.
ポリフェニルエーテル拡散ポンプとチタン昇華ポンプを用いると、容積50リットルのステンレス綱チェンバにより、大気圧から7×10{-11}Pa(5×10{-13}Torr)の極高真空(XHV)を15時間で得ることが可能なことを立証した。XHVをこのように短時間で発生させる際のキーファクタについて検討した。 |
| キーワード | polyphenyl ether diffusion pump; titanium sublimation pump; stainless steel vacuum chamber; extreme high vacuum; XHV; short time; outgassing; residual gas; time dependence; pressure measurement; chamber inner wall; electrolytic polishing; initial baking; initial purification; technical support; ポリフエニルエーテル拡散ポンプ; チタン昇華ポンプ; ステンレス鋼真空チェンバ; 極高真空; XHV; 短時間; 脱ガス; 残留ガス; 時間依存性; 圧力測定; チェンバ内壁; 電解研磨; 初期ベーキング; 初期浄化; 技術支援 |
| 資料種別 | Technical Report |
| ISSN | 0919-3405 |
| SHI-NO | AA0000185002 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/51039 |
