| タイトル | 高出力超短パルスTi:Al2O3レーザーによるポリテトラフルオロエチレンのアブレーション その2 |
| その他のタイトル | Ablation of polytetrafluoroethylene film with an ultrashort high-power Ti:sapphire laser, part 2 |
| 著者（日） | 中村 真毅; 緑川 克美; 熊谷 寛; 小原 實; 豊田 浩一 |
| 著者（英） | Nakamura, Shinki; Midorikawa, Katsumi; Kumagai, Hiroshi; Obara, Minoru; Toyoda, Koichi |
| 著者所属（日） | 理化学研究所 新レーザー技術研究グループ; 理化学研究所; 理化学研究所; 理化学研究所 新レーザー技術研究グループ; 理化学研究所 |
| 著者所属（英） | Institute of Physical and Chemical Research New Laser Technology; Institute of Physical and Chemical Research; Institute of Physical and Chemical Research; Institute of Physical and Chemical Research New Laser Technology; Institute of Physical and Chemical Research |
| 発行日 | 1995-09-30 |
| 刊行物名 | レーザー科学研究
Laser Science Progress Report of RIKEN |
| 号 | 17 |
| 開始ページ | 33 |
| 終了ページ | 35 |
| 刊行年月日 | 1995-09-30 |
| 言語 | jpn |
| 抄録 | テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)フィルムのアブレーション特性に及ぼすパルス幅の効果を798nmでのフェムト秒およびピコ秒Ti:サファイアレーザーパルスで研究した。170fsから200psまでのパルス幅でアブレーション速度のフルエンス依存性を測定し、アブレーションされた穴の表面状態を走査電子顕微鏡により観察した。170fsのパルスと570fsパルスより長いパルスとでアブレーション特性は大きく変わることを見いだした。
Effects of pulse duration on ablation characteristics of tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP) film have been investigated with femtosecond and picosecond Ti:sapphire laser pulses at 798 nm. For 170 fs to 200 ps pulses, the fluence dependence of ablation rates was measured, and surface conditions of ablated holes were inspected by using a scanning electron microscope. A great difference was found in the ablation characteristics for a 170 fs pulse and longer pulses than a 500 fs pulse. |
| キーワード | tetrafluoroethylene hexafluoropropylene copolymer; laser ablation; ablation; pulse laser; laser fluence; threshold value; titanium sapphire laser; ultrashort pulse; picosecond; femtosecond; fluorinated ethylene propylene; テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体; レーザーアブレーション; アブレーション; パルスレーザー; レーザーフルエンス; しきい値; チタンサファイアレーザー; 超短パルス; ピコ秒; フェムト秒; 沸化エチレンプロピレン |
| 資料種別 | Technical Report |
| ISSN | 0289-8411 |
| SHI-NO | AA0000113012 |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/53440 |
