AIREX: Micromachining of Si by Wet Processes Using Metal Catalysts : Boring, Cu Electrodeposition, Grooving, and Slicing

タイトル	Micromachining of Si by Wet Processes Using Metal Catalysts : Boring, Cu Electrodeposition, Grooving, and Slicing
その他のタイトル	金属触媒を用いたウェットプロセスによるシリコンの微細加工 : 孔形成、銅電析、溝形成、スライシングーキンゾク　ショクバイ　ヲ　モチイタ　ウェットプロセス　ニヨル　シリコン　ノ　ビサイ　カコウ　コウケイセイ　ドウデンセキ　コウケイセイ　スライシングー
本文（外部サイト）	http://ir.library.osaka-u.ac.jp/dspace/bitstream/11094/23481/8/23874_%e8%a6%81%e6%97%a8.pdf http://ir.library.osaka-u.ac.jp/dspace/bitstream/11094/23481/1/23874_%e8%ab%96%e6%96%87.pdf
参考URL	http://hdl.handle.net/11094/23481
著者（日）	リ, カリュウ; 李, 佳龍
著者（英）	Lee, Chia-Lung
発行日	2010-03-23
言語	eng
内容記述	23874 博士（工学） 2010-03-23 大阪大学 14401甲第14293号
キーワード	silicon; metal catalysts; wet etching; electrochemical; Cu filling; grooving
資料種別	Thesis or Dissertation
著者版フラグ	ETD