| タイトル | RF可変受動素子実現に向けたAll Metal MEMS静電アクチュエータ |
| その他のタイトル | All Metal MEMS Electrostatic Actuator for RF Variable Passive Element
RF可変受動素子実現に向けたAll Metal MEMS静電アクチュエータ |
| 参考URL | http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100613070 |
| 著者（日） | 白根, 篤史; 水落, 裕; 天川, 修平; 石原, 昇; 益, 一哉 |
| 著者（英） | Shirane, Atsushi; Mizuochi, Yutaka; Amakawa, Shuhei; Ishihara, Noboru; Masu, Kazuya |
| 発行日 | 2010-10-20 |
| 発行機関など | 応用物理学会 |
| 刊行物名 | 応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催 集積化 MEMS シン ポジウ ム 2010 |
| 開始ページ | 1 |
| 終了ページ | 4 |
| 刊行年月日 | 2010-10 |
| 言語 | ja |
| 資料種別 | Conference Paper |
| URI | https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/606911 |
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