AIREX: 多自由度・高応答レンズ駆動アクチュエータによる厚板レーザ加工の高速・高品質化の研究

タイトル	多自由度・高応答レンズ駆動アクチュエータによる厚板レーザ加工の高速・高品質化の研究
その他のタイトル	多自由度・高応答レンズ駆動アクチュエータによる厚板レーザ加工の高速・高品質化の研究
本文（外部サイト）	http://t2r2.star.titech.ac.jp/rrws/file/CTT100698480/ATD100000413/result_13D34027.pdf
参考URL	http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100698480
著者（日）	森本, 貴景
著者（英）	Morimoto, Yoshihiro
発行日	2015-11-04
刊行年月日	2015-03
言語	ja
資料種別	Conference Paper
URI	https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/608484