AIREX: Plasma etching mechanisms in the fabrication of high-aspect-ratio microstructures in stacked layers of different materials

タイトル	Plasma etching mechanisms in the fabrication of high-aspect-ratio microstructures in stacked layers of different materials
その他のタイトル	異種積層膜高アスペクト比微細構造プラズマエッチング機構の解明イシュセキソウマクコウアスペクトヒビサイコウゾウプラズマエッチングキコウノカイメイ
DOI	info:doi/10.18910/73566
本文（外部サイト）	http://ir.library.osaka-u.ac.jp/repo/ouka/all/73566/30804_Abstract.pdf http://ir.library.osaka-u.ac.jp/repo/ouka/all/73566/30804_Dissertation.pdf
参考URL	http://hdl.handle.net/11094/73566
著者（日）	岩瀬, 拓; イワセ, タク
発行日	2019-09-25
言語	eng
内容記述	博士（工学） 2019-09-25 大阪大学 14401甲第20500号 30804
資料種別	Thesis or Dissertation
著者版フラグ	ETD