AIREX: 後方パルスレーザ堆積法におけるレーザ誘起プルーム挙動に依存したナノ柱状構造体創製に関する研究

タイトル	後方パルスレーザ堆積法におけるレーザ誘起プルーム挙動に依存したナノ柱状構造体創製に関する研究
その他のタイトル	コウホウパルスレーザタイセキホウニオケルレーザユウキプルームキョドウニイゾンシタナノチュウジョウコウゾウタイソウセイニカンスルケンキュウ
DOI	info:doi/10.18910/77488
本文（外部サイト）	http://ir.library.osaka-u.ac.jp/repo/ouka/all/77488/31473_Abstract.pdf http://ir.library.osaka-u.ac.jp/repo/ouka/all/77488/31473_Dissertation.pdf
参考URL	http://hdl.handle.net/11094/77488
著者（日）	神田, 和輝; コウダ, カズキ
発行日	2020-09-25
言語	jpn
内容記述	博士（工学） 2020-09-25 大阪大学 14401甲第21097号 31473
資料種別	Thesis or Dissertation
著者版フラグ	ETD
URI	https://repository.exst.jaxa.jp/dspace/handle/a-is/962805